激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是*的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有較高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據(jù)。
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。